臭氧发生器是一种内部发热的气相反应器。由于空气和其他类似气体是不良热导体，电晕放电形成的热量会使气体温度升高。臭氧与高温容易分解，导致臭氧发生器浓度会降低。臭氧被还原为氧气，从而减少臭氧的产生。
   臭氧发生器如何选择水冷式还是风冷式呢，小型臭氧发生器通常使用风冷冷却。较大场所使用水冷式臭氧发生器。风冷冷却有助于降低臭氧发生器的成本，但也使生产依赖于臭氧发生器的环境条件。冷却式主要是通过冷却水来冷却臭氧管。一般采用自来水和冷水机2种方式提供冷却水源。