随着臭氧制备技术的发展，臭氧的制备方法有很多，按其产生方式分类要有电化学、原子辐射、光化学和电晕放电等几种。工业生产中采用的臭氧源80%以上都是气体电晕放电型的臭氧发生器，小型臭氧发生器的气源可以空气源也可以是氧气源。而大型臭氧发生器的气源一般采用的氧气源，采用氧气源相比较空气源可以节省臭氧的运行费用。