臭氧的稳定性差,在常温下可自行分解成氧气,在常温常压下半衰期为20~30分钟,所以臭氧不能像其它化学消毒剂那样用瓶装贮存。臭氧的杀菌机理主要是靠分解后产生新生态氧的强氧化能力,而杀灭细菌、消毒分解有机物,而且臭氧在杀菌消毒除臭的同时无任何残余污染。
正是因为它具有这种强杀菌能力且无二次污染的特性,而使得它在人们的现实生活中被广泛的应用,大型工业厂使用水冷式臭氧发生器,家用臭氧消毒柜居多。