臭氧发生器有两种冷却方式，又可分为水冷型和风冷型。
   臭氧发生器工作时会产生大量的热能，需要冷却，否则臭氧会因高温而边产生边分解。大型水冷式臭氧发生器冷却效果好,工作稳定，臭氧衰减少，并能长时间连续工作，但结构复杂，成本稍高。风冷型臭氧发生器如果内部结构设计不合理，会造成冷却效果不够理想，臭氧衰减明显。总体性能稳定的高性能臭氧发生器通常都是水冷式的。风冷-般只用于臭氧产量较小的中低档臭氧发生器。