臭氧发生器的工作原理主要有以下几种：
高压电晕放电放式臭氧发生器原理：通过干燥的氧气或含氧气体与电弧放电区域接触，在放电区域内增加数千伏的高压电极，将注入充放 电区域的特殊空气点击成臭氧。
水电解式臭氧发生器基本原理：运用水电化学氧化法形成活性氧。带有凝固莹光阳离子电解质溶液水中，在类似常温下以高电流功率可把水空气氧化成活性氧。
无论哪种原理，臭氧发生器都能产生强氧化剂，常用于杀菌消毒等用途。
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